Rambler's Top100 Service
Поиск   
 
Обратите внимание!   Посетите Сервер по Физике Обратите внимание!
 
  Наука >> Физика >> Основы технологии >> Нанотехнологии | Популярные статьи
 Написать комментарий  Добавить новое сообщение
Алмазный катод обеспечит новую жизнь электронной литографии
28.12.2000 0:00 | Русский Переплет
    

Специалисты ORNL (Oak Ridge National Lab., США) плотно занимаются вопросами 100нм литографии. Вначале они опробовали электронную голографию, а затем оценили возможности, предоставляемые множеством сфокусированных электронных пучков. Последние могут быть сформированы миллионами нанокатодов, управляемыми компьютером. Электроны, испускаемые множеством эмиттеров, можно сфокусировать магнитным образом на кремниевую пластину, при этом размер каждого пятна, создаваемого отдельным электронным пучком, составляет в поперечнике 40нм.

Ключевым элементом в проекте ORNL служит катод на основе аморфного алмаза, содержащий адресную матрицу из миллионов полевых эмиттеров. Можно одновременно поджечь 6 млн. эмиттеров и сфокусировать выпускаемые ими электроны на пластину для рисования элементов ИС. При этом не нужны шаблоны, если напрямую кодировать поверхность с помощью электронов. Специалисты считают, что меньше, чем за секунду можно разрисовать участок пластины в 1 см2 100нм элементами различной конфигурации.

Проект использования бесшаблонной литографии на основе полевых эмиттеров был предложен специалистами ORNL три года назад и получил субсидию от DARPA на изготовление опытного образца катодного эмиттера, состоящего из двух кристаллов, содержащих 5х5 пикселей.

Критические моменты в освоении новой технологии - надежность, однородность характеристик, стабильность, управляемость и воспроизводимость полевых эмиттеров на аморфном алмазе. Другими словами, - говорит руководитель проекта Tommy Thomas, - мы должны научиться делать их такими, чтобы они делали то, что нам нужно. При успешном развитии событий чипмейкеры скоро смогут установить невиданный доселе рекорд по плотности упаковки ИС на кристалле. Если это удастся, тогда возможности информационной акробатики, выполняемые сегодня с помощью микрокристаллов, выйдут за пределы всего, что еще только может присниться сегодня.


ПерсТ
(Перспективные Технологии - наноструктуры, сверхпроводники, фуллерены)


Написать комментарий
 Copyright © 2000-2015, РОО "Мир Науки и Культуры". ISSN 1684-9876 Rambler's Top100 Яндекс цитирования