Rambler's Top100 Service
Поиск   
 
Обратите внимание!   Обратите внимание!
 
  Наука >> Фундаментальное материаловедение | Тезисы
 Написать комментарий  Добавить новое сообщение
Получение гетероструктуры состава La0.7Pb0.3MnO3 / PbTiO3 / La0.7Pb0.3MnO3
11.10.2000 0:00 | интернет-журнал "Ломоносов"
    

УДК 541.451:538.975+538.945

Получение гетероструктуры состава La0.7Pb0.3MnO3 / PbTiO3 / La0.7Pb0.3MnO3

А.Н. Ботев

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова

В настоящее время большой интерес вызывают тонкоплёночные конденсаторы со слоем сегнетоэлектрика с высокой диэлектрической проницаемостью, ипспользуемые в микроэлектронике. Задачей данной работы является получение такого конденсатора. В качестве электродного материала предполагается использовать La0.7Pb0.3MnO3. Сегнетоэлектрическим слоем будет служить PbTiO3. Монокристаллическая подложка, на которую наносится данная структура, изготовлена из SrTiO3 (альтернатива- LaAlO3). Выбор именно таких материалов обусловлен близостью параметров решётки перовскитов La0.7Pb0.3MnO3, PbTiO3, SrTiO3 и LaAlO3, а также высокой гладкостью плёнок La0.7Pb0.3MnO3, достигаемой в условиях автоподстройки состава по свинцу, когда давление пара оксида свинца в паровой фазе лежит в интервале равновесных давлений пара PbO над PbTiO3 (или La0.7Pb0.3MnO3) и PbO.

Напыление всей структуры проводится методом MOCVD с импульсным ленточным испарителем. В качестве прекурсоров используются следующие летучие соединения: Pb(thd)2, Ti(i- Pro)2(thd)2, La(thd)3 и Mn(thd)3 (thd = 2,2,6,6-тетраметилгептандионат-ион). При нанесении плёнок пар Pb(thd)2 подается в реактор из отдельного испарителя, что позволяет независимо контролировать давление пара PbO в реакторе.

Произведён синтез исходных летучих соединений, и выполнен их гравиметрический анализ. Проведена серия напылений PbTiO3, в ходе которых выявлены оптимальные условия ориентированного роста плёнки этого соединения. Установлено, что химический состав пленки на подложке SrTiO3 зависит от ее кристаллографической ориентации. В одних и тех же условиях нанесения наблюдается осаждается PbTiO3 на подложке с ориентацией (110) и TiO2 (анатаз) на подложке с ориентацией (001).

Опробовано напыления пленки La0.7Pb0.3MnO3, в условиях, близких к применяемыми при нанесении PbTiO3.


Написать комментарий
 Copyright © 2000-2015, РОО "Мир Науки и Культуры". ISSN 1684-9876 Rambler's Top100 Яндекс цитирования