Rambler's Top100 Service
Поиск   
 
Обратите внимание!   Обратите внимание!
 
  Наука >> Фундаментальное материаловедение | Тезисы
 Написать комментарий  Добавить новое сообщение
 См. также

ТезисыПолучение буферных слоев со структурой перовскита на основе нового твёрдого раствора Gd1-xCexAlO3 методом MOCVD

Получение эпитаксиальных буферных слоёв LaAlO3 методом MOCVD
11.10.2000 0:00 | интернет-журнал "Ломоносов"
    

УДК 541.132.4 + 621.793 + 546.623'654

Получение эпитаксиальных буферных слоёв LaAlO3 методом MOCVD

А.Н. Гаврилов

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова

В настоящее время большой интерес для микроэлектронной техники представляют сложнооксидные функциональные материалы с перовскитоподобной структурой- сегнетоэлектрики, высокотемпературные сверхпроводники, магнеторезистивные манганиты. Перспективным методом их получения является осаждение из паровой фазы (MOCVD). Осаждение плёнок этих материалов проходит при температуре 800-9000С, следовательно, необходимо применение буферных слоёв, защищающих плёнку материала от химического взаимодействия с подложкой и обладающих высоким структурным соответствием, позволяющим эпитаксиальное наращивание ряда слоёв на монокристаллическую подложку. Адаптацию дешёвых и распространённых подложек R-Al2O3 и YSZ для нанесения на них функциональных покрытий удалось провести с помощью буферных слоёв со структурой флюорита (CeO2, Zr1- xYxO2, PrOx). Однако наиболее перспективные буферные слои со структурой перовскита, для которых рассогласование параметров с плёнкой функционального материала не превышает 5% (например, LaAlO3), до сих пор методом MOCVD не получены.

Целью данной работы является получение эпитаксиальных тонкопленочных буферных слоёв LaAlO3 методом MOCVD, исходя из летучих дипивалоилметанатов лантана и алюминия.

Осаждение производили на подложки Al2O3(1102), MgO(100), SrTiO3(100), NdGaO3(001), YSZ(100) при температуре 10000С и давлении 10 mbar с использованием порошкового сбросового источника. Рентгенофазовый анализ показал, что получены высокоориентированные (100)-плёнки LaAlO3 на подложках MgO, SrTiO3, NdGaO3, (111)-пленки на подложке YSZ, тогда как на R- сапфире слабоориентированные поликристаллические слои.


Написать комментарий
 Copyright © 2000-2015, РОО "Мир Науки и Культуры". ISSN 1684-9876 Rambler's Top100 Яндекс цитирования